Мікрокристалічна структура сульфіду кадмію, отриманого магнетропним розпиленням
Навчальний заклад: Нововолинський науковий ліцей Волинської обласної ради
Автор: Боярська Анастасія Романівна
Відділення: Фізика і астрономія
Секція: Прикладна фізика
Область: Волинська
Опис:
Дослідницька робота присвячена: отриманню експериментальних параметрів мікрокристалічної структури CdS, отриманих методом магнетронного розпилення; встановленню основних мікрокристалічних структурних властивостей тонких плівок CdS. Залежно від часу розпилення отримані плівки CdS мали різну товщину, що дозволило встановити їх фазовий склад рентгенструктурними методами. Отримано та аналітично опрацьовано спектри рентгенструктурного дослідження та розраховані мікрокристалічні параметри тонкоплівкового зразка CdS. Середні значення розмірів кристалітів становлять 55-88 нм, рівень мікронапружень 1,4-1,8∙10-3 відн.од. Оцінено вплив фізико-технологічних параметрів магнетронного розпилення на напруження за модулем пружності 0,14 ГПа (USDM) та 0,08 ГПа (UDEDM) та густину енергії в об’ємі плівки 1368,64 кДж/м3. Результати розрахунку за методом USDM підтверджують відсутність анізотропії пружних властивостей гексагональної модифікації сульфіду кадмію, а отже, методика розрахунку за моделлю UDEDM дає більш точний результат мікрокристалічних параметрів даних зразків. Дані параметри дозволять моделювати, проєктувати та створювати оптоелектричні прилади та пристрої на основі плівкових напівпровідникових структур сульфіду кадмію з більшою прогнозованістю отриманих структурних і, відповідно, оптичних та електричних параметрів.