Моделювання фазового складу нанокомпозитів Si/SiOx, отримуваних фазовим розділенням нестехіометричного оксиду кремнію

Навчальний заклад: Комунальний заклад «Науковий ліцей імені Анатолія Лигуна» Кам’янської міської ради Дніпропетровської області

Автор: Наголенко Валерія Сергіївна

Відділення: Інженерія та матеріалознавство

Секція: Матеріали та адитивні технології

Область: Дніпропетровська

Опис:

Високотемпературний відпал плівок SiOx є найпопулярнішим методом отримання композитних структур, що містять нанорозмірні включення Si, убудовані в матрицю оксиду кремнію. Такі відпали сприяють фазовим перетворенням з виділенням кремнієвої фази у вигляді нанорозмірних частинок. Основними факторами, що впливають на фазовий склад, є температура та початкова стехіометрія фази SiOx. Проте в попередніх роботах не було досліджено характеристики нанокомпозитів у широкому діапазоні температур відпалу та значень початкової стехіометрії оксиду кремнію при врахуванні появи механічних напружень. У роботі проаналізовано літературні джерела, у програмі Wolfram Mathematica проведено теоретичні розрахунки таких параметрів, як рівноважна стехіометрія матриці оксиду кремнію, відносна кількість кремнію, що випав у кремнієву фазу, середнього розміру наночастинок та порогу перколяції залежно від температури відпалу та початкової стехіометрії оксиду. Отримані результати узгоджуються з теоретичними та експериментальними результатами інших дослідників.

- -